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装置

半導体関連 液晶関連 画像関連 一般産機

半導体関連

バッチ式洗浄装置 バッチ式洗浄装置
架台のユニット化により、現場での復帰作業の効率化を実現しました。装置コンフィング等の大掛かりな改造も、短時間での現場工事が可能です。
枚葉洗浄装置 枚葉洗浄装置
従来の高温加熱・大量排気・大量薬液消費のRCA洗浄に代わる新しいウェットプロセスを提供する量産モデルです。
オートスキャニングシステム オートスキャニングシステム
Si酸化膜付ウェーハ表面の金属残留物を分析出来るようにウェーハ表面をHF気相エッチングにて溶解し溶液をサンプリングするシステムです。
ブラシスクラブ洗浄装置 ブラシスクラブ洗浄装置
受入洗浄及びレジストコーティング前やCVD、そして、スパッタなどの成膜工程の後洗浄を主に、高いパーティクル除去効果を得ることができます。
バッチ式酸化膜エッチング装置 バッチ式酸化膜エッチング装置
4、,5、6インチウェーハ共用の酸化膜除去装置で、50枚1バッチ処理。
乾燥方式はスピン乾燥を採用(オートバランス機能付)しています。
WAFER ID認識ユニット WAFER ID認識ユニット
ウェーハ表面に刻印された固有のIDを認識/判定するシステムです。
自動エキスパンド(UV付)装置 自動エキスパンド(UV付)装置
ダイシング後ウェハーの自動エキスパンド装置です。
薬液濃度モニタリングシステム 薬液濃度モニタリングシステム
ウェーハ洗浄プロセスにて使用されている薬液の濃度を自動でモニタリングする システムです。

液晶関連

フラットパネル用クリーナー フラットパネル用クリーナー
LCDガラス基板(カラーフィルター)、PDPガラス基板など、各種フラットパネル・ディスクの表面(両面)クリーニングを乾式で、しかも非接触で行い、数ミクロンの粒子(パーティクル)を除去することができます。
ガラス基板自動圧着装置 ガラス基板自動圧着装置
接続位置自動修正機能を採用
CCDカメラを搭載し、画像処理技術により、セル基板と相手方接続部の位置ずれを計測して正確な位置に接続します。
TCP接続装置 TCP接続装置
高解像度CCDカメラを使用した画像処理により高精度に補正を行い圧着誤差を最小限に抑えたTCPセル圧着装置。
アンパッキング 装置 アンパッキング 装置
液晶用ガラス基板を工場間で輸送するときには、専用のPPケース などの収納具を用います。これらが搬送されてきた工程では、ガラス基板をその工程内専用カセットに入替えたり、1枚ずつコンベア上へ載せて下流設備へ受け渡す作業を必要とします。この入替え作業を自動的に行うのが、アンパッキング 装置なのです。
転写式レーザー マーキング装置 転写式レーザー マーキング装置
従来の削剥や焼付方式等によるマーキングは、パーティクル発生の要因でもありました。パーティクル発生を抑制するために開発されたのが転写式レーザーマーキング装置なのです。
ビジュアル インスペクション テーブル ビジュアル インスペクション テーブル
オペレータにより、手投入されたガラス基板をグリーンランプ・ナトリウムランプ・蛍光灯等を用いて、塵・傷・欠け・割れ・ムラ等の外観検査を目視にて行い、さらにCCDカメラより画像を拡大して、より明確な検査ができます。
インライン ビジュアル インスペクション インライン ビジュアル インスペクション
自動搬送により投入されたガラス基板に、グリーンランプ・ナトリウムランプ・蛍光灯等を用いて、塵・傷・欠け・割れ・ムラ等の外観検査を目視にて検査が出来ます。
パッキング装置 パッキング装置
上流設備より搬入されてくるガラス基板を、ロボットアームにより、PPケースへ1枚ずつ収納します。そして、このPPケースをビニール梱包した上、さらにPPバンドで結束をします。大型化する次世代ガラス基板には、欠かせない装置です。

画像関連

自動特性検査装置(Type 1) 自動特性検査装置(Type 1)
磁気ヘッドの記録・再生特性を検査する装置です。
自動特性検査装置(Type 2) 自動特性検査装置(Type 2)
磁気ヘッドの記録・再生特性を検査する装置です。
GD認識前研装置(Type 1) GD認識前研装置(Type 1)
磁気ヘッドのギャップデップスのサブミクロン単位での測定、研磨を行う装置です。
GD認識前研装置(Type 2) GD認識前研装置(Type 2)
磁気ヘッドのギャップデップスのサブミクロン単位での測定、研磨を行う装置です。
チップ検査装置 チップ検査装置
磁気ヘッドチップ寸法検査装置です。
一体型前面研磨装置 一体型前面研磨装置
磁気ヘッドのギャップデップスのサブミクロン単位での測定、研磨を行う装置です。
干渉縞検査装置 干渉縞検査装置
磁気ヘッドのテープ接触部の三次元形状を検査し、分類する装置です。
アジマス検査装置 アジマス検査装置
磁気ヘッドのギャップ角度を高精度に測定し、分類する装置です。
アジマス・突出・割出検査装置 アジマス・突出・割出し検査装置
磁気ヘッドシリンダーの各部寸法を高精度に測定する装置です。
ランク分類装置 ランク分類装置
磁気ヘッドのギャップデップスをサブミクロン単位での測定し、ランク分けを行う装置です。
寸法測定装置 寸法測定装置
磁気ヘッドの各寸法の測定補助ユニットです。
干渉縞検査顕微鏡ユニット 干渉縞検査顕微鏡ユニット
磁気ヘッドのテープ接触部の三次元形状を検査するユニットです。
レンズホルダー接着装置 レンズホルダー接着装置
撮像素子とレンズホルダーをミクロン単位でアライメントし、接着する装置です。

一般産機

レーザーマーキング装置 レーザーマーキング装置
YAGレーザーを用いたマーキング装置です。
VsVn測定装置 VsVn測定装置
赤外線センサーの起電力とノイズを測定・検査する装置です。
純水モジュール評価装置 純水モジュール評価装置
ガス溶解モジュールの性能評価を行う装置です。
UV本硬化装置 UV本硬化装置
紫外線硬化樹脂用の硬化炉です。
プレート厚み測定機 プレート厚み測定機
プレートデバイスの厚み検査装置です。
プレートアライメント装置 プレートアライメント装置
プレートデバイスのアライメント接着装置です。
導通検査装置 導通検査装置
磁気ヘッドの導通を検査するユニットです。
特性検査移載装置 特性検査移載装置
検査装置のローダー・アンローダーユニットです。
ブロックラッピング装置 ブロックラッピング装置
磁気ヘッドブロックの表面ラップ装置です。
リモートフォーカス装置 リモートフォーカス装置
顕微鏡のフォーカスノブの遠隔操作ユニットです。
ヒートシール熱圧着装置 ヒートシール熱圧着装置
卓上型エアーブローユニット 卓上型エアーブローユニット
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